索爾維特種聚合物事業(yè)部，一家致力于為應(yīng)對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)最具挑戰(zhàn)性難題而研究、開發(fā)和生產(chǎn)高性能材料的全球領(lǐng)先供應(yīng)商，將在國(guó)際半導(dǎo)體展(Semicon Taiwan)期間，展示其豐富多樣的先進(jìn)解決方案，以滿足這個(gè)高科技行業(yè)對(duì)工藝和成本效益所提出的要求。

半導(dǎo)體、納米電子、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)和晶圓以及光伏產(chǎn)品和先進(jìn)電子產(chǎn)品的相關(guān)領(lǐng)域，都嚴(yán)重依賴高純度、高技術(shù)性部件，這類部件大多數(shù)需要在潔凈室生產(chǎn)。典型的晶圓加工工藝由超過(guò) 12 個(gè)步驟組成，包括光刻、蝕刻、氣相沉積、化學(xué)機(jī)械拋光、氧化、離子注入與擴(kuò)散，并不斷重覆。新的技術(shù)可以在很小的表面進(jìn)行更密集的模塊封裝。所有這些都需要材料在制造和使用過(guò)程中具有杰出的耐久性、耐化學(xué)和耐高溫性能。

“據(jù) SEMI全球半導(dǎo)體工廠預(yù)測(cè)(SEMIWorld Fab Forecast)報(bào)告，2015 年，半導(dǎo)體制造設(shè)備在新的、現(xiàn)有的前端設(shè)施上的投資將增長(zhǎng) 11%，2016 年增長(zhǎng) 5%，全球超過(guò) 20%的晶圓制造設(shè)施將落腳臺(tái)灣。晶圓制造廠的資本開支可以很容易地超過(guò) 100 億美元，必須盡可能降低總體擁有成本，”索爾維特種聚合物亞太區(qū)總裁及執(zhí)行副總裁杜志仲博士表示，“我們致力于為安全高效生產(chǎn)最先進(jìn)的新一代產(chǎn)品提供最全面的創(chuàng)新材料，支持客戶在這個(gè)快速發(fā)展的行業(yè)實(shí)現(xiàn)雄心勃勃的投資、生產(chǎn)率和性能目標(biāo)。”

索爾維在國(guó)際半導(dǎo)體展(Semicon Taiwan)展上重點(diǎn)亮相的產(chǎn)品包括 Galden®(PFPE)全氟流體，這是市場(chǎng)上最先進(jìn)的半導(dǎo)體測(cè)試、焊接和導(dǎo)熱液產(chǎn)品。針對(duì)柔性部件如關(guān)鍵密封應(yīng)用，索爾維則推出了超高性能 Tecnoflon®含氟/全氟橡膠(FKM/FFKM)。

Galden®導(dǎo)熱液(HT) PFPE 是全系列惰性、介電性導(dǎo)熱介質(zhì)，在所有氟化導(dǎo)熱液中的沸點(diǎn)溫度范圍最廣，從 55°C ~ 270°C，滿足工作溫度介于 -100°C ~ +290°C 的應(yīng)用要求。由于具有出色的熱穩(wěn)定性、與各種金屬、塑料、橡膠和有機(jī)硅等材料具有化學(xué)相容性，不會(huì)與制造材料反應(yīng)，也不會(huì)形成任何分解殘留，從而有助于防止腐蝕和卡泵。尤其是這些液體的化學(xué)物質(zhì)中不含氫，與密封和墊片復(fù)合材料中的碳?xì)浠�合物不�?huì)產(chǎn)生親和作用。

特別是 Galden® HT高沸點(diǎn)(HB)等級(jí)可以適應(yīng)沸點(diǎn)高達(dá) 270°C 的耐高溫鍋爐工作液，蒸發(fā)損失極低，同時(shí)，透過(guò)替代蒸發(fā)速率通常較高的液體，還可以改善中等溫度工藝的加工效率。

Galden® HT 有 5 只低沸點(diǎn)等級(jí)和 4 只高沸點(diǎn)(LB/HB)等級(jí)牌號(hào)可供，是需要嚴(yán)格控制溫度的晶圓加工工藝的理想導(dǎo)熱液選擇。而且該系列產(chǎn)品具有無(wú)毒性、不可燃、臭氧損耗指數(shù)為零的特點(diǎn)，比許多競(jìng)爭(zhēng)性導(dǎo)熱液具有更高的環(huán)保穩(wěn)定性，并可以改善工作場(chǎng)所的安全性。

索爾維的 Tecnoflon®全氟橡膠(PFR)兼具高純度、耐化學(xué)腐蝕性、優(yōu)異的機(jī)械和密封性能，可用于如腔室、蓋、窗、氣體入口、配件和唇型密封圈，以及縱切閥、各種芯片傳送部件等關(guān)鍵應(yīng)用。兩種半導(dǎo)體特種等級(jí)具有出色的耐氧氣、耐氟等離子性能，粒子生成極低，出氣率低，在高達(dá) 300°C 時(shí)，依然具有優(yōu)異的摩擦磨損性能(低摩擦、高耐磨損性能)。

“國(guó)際半導(dǎo)體展(Semicon Taiwan)是亞洲微電子制造業(yè)主要的行業(yè)盛會(huì)，我們期待為尋求在這個(gè)特別的市場(chǎng)領(lǐng)域獲得并保持競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)的設(shè)計(jì)人員、制造商和 OEM 展現(xiàn)我們的半導(dǎo)體材料組合所具有的高性能和生產(chǎn)率。”索爾維特種聚合物半導(dǎo)體全球市場(chǎng)總監(jiān) David Ho 表示。

其他可以很好滿足半導(dǎo)體市場(chǎng)需求的還包括 Fomblin® PFPE、Algoflon®聚四氟乙烯(PTFE)、Halar®乙烯-三氟氯乙烯(ECTFE)、Hyflon®(PFA/MFA)和 Solef®聚偏二氟乙烯等材料，可用于不管是芯片制造、流體處理和潤(rùn)滑劑，還是管道保溫、廢氣排放和廢棄物處置應(yīng)用。具有出色熱學(xué)性能、機(jī)械和化學(xué)性能，尤其適用于耐高溫和耐磨損部件的 AvaSpire®聚芳醚酮(PAEK)、KetaSpire®聚醚醚酮樹脂(PEEK)和 Torlon®聚酰胺-酰亞胺(PAI)超級(jí)聚合物樹脂則進(jìn)一步補(bǔ)充了材料性能組合。