[發(fā)明公布] 低溫固化、低熱膨脹光敏聚酰亞胺樹脂及其光刻膠

申請公布號：CN121005901A

申請公布日：2025.11.25

申請人：中國科學(xué)院長春應(yīng)用化學(xué)研究所

摘要：本發(fā)明提供了低溫固化、低熱膨脹光敏聚酰亞胺樹脂，其特征在于，具有式I所示結(jié)構(gòu)，式I中，X為聚酰胺酸酯聚合的四羧酸二酐的殘基；Y至少包含含氮芳雜環(huán)結(jié)構(gòu)的基團；R1為C4～C20的可聚合烯烴結(jié)構(gòu)的基團；R2為C1～C12的直鏈或支鏈烷烴基，或含有醚鍵‑O‑的直鏈或支鏈烷烴基；M至少包含胺基、酐基中的一種；n為聚合度，n＝2～150。本發(fā)明提供的光敏聚酰亞胺樹脂同時含有烯丙基側(cè)鏈、脂肪側(cè)鏈，主鏈含有含氮芳雜環(huán)，可以同時達到低固化溫度、低熱膨脹系數(shù)、與銅基材的高附著力、且在環(huán)戊酮顯影的分辨率目標(biāo)。